磁控溅射多弧离子镀复合镀膜设备
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磁控溅射多弧离子镀复合镀膜机主要用于镀制多层复合膜,可以镀制Cu、Al、Au、Ag、Ni、Si、Cr等多种纯金属膜,也可以镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiCrCN、ZrN、CrN等彩色装饰性膜层及其化合物复合硬质膜层。

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